Membaca takbir (Allahu akbar 33x)
Membaca Ayat Kursi (1x)
Membaca sholawat kepada Nabi Muhammad SAW (33x)
Membaca surat al Ikhlas, al Falaq, dan surat An-naas sebanyak tiga kali (bisa masing-masing 1x atau 3x)
Ditutup dengan membaca surah al Fatihah sebanyak satu kaoi (1x)
Selain mengamalkan dzikir, setelah sholat tahajud juga dianjurkan untuk membaca doa, dan berikut doa setelah sholat tahajud yang dianjurkan untuk dibaca.
Allahumma lakal hamdu anta qayyums samawati wal ardhi wa manfihinna.
Wakalal hamdu anta malikus samawati wal ardhi wa manfihina
Walakal hamdu anta nurus samawati wal ardhi wa man fihinna
Walakal hamdu antal haqq